洛陽兆光有色金屬有限公司
手機(jī):156-0379-3559
郵箱:lyzgjt@163.com
地址:洛陽市高新區(qū)北航科技園區(qū)
旋轉(zhuǎn)靶材是磁控的靶材。靶材做成圓筒型的,里面裝有靜止不動(dòng)的磁體,以慢速轉(zhuǎn)動(dòng)。
濺射靶材用于磁控濺射鍍膜,濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜(PVD)方式。
在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個(gè)正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負(fù)高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離靶面飛向基片淀積成膜。
濺射鍍膜的主要應(yīng)用于:平板顯示器、鍍膜玻璃工業(yè)(主要包括建筑玻璃、汽車玻璃、光學(xué)薄膜玻璃等)、薄膜太陽能、表面工程(裝飾&工具)、(磁、光)記錄介質(zhì)、微電子、汽車車燈、裝飾鍍膜等
版權(quán)所有:洛陽兆光有色金屬有限公司
聯(lián)系人:李經(jīng)理
手 機(jī):156-0379-3559
電 話:0379—63002228
傳 真:0379—63002228
郵 箱:lyzgjt@163.com
地 址:洛陽市高新區(qū)北航科技園區(qū)
流量統(tǒng)計(jì):
備案號:豫ICP備11023533號-1 豫公網(wǎng)安備 41030502000605號